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第412章 厂的土木工地

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9月11日,上午9点。

一辆墨绿色的军用吉普和两辆解放卡车,驶入八王坟6305厂工地。

丘岩、李怀德、陈光远,以及宋颜教授、吕辰、谢凯等人,早已等在厂区门口。

吕辰手里拿着一本厚厚的蓝色文件夹,封面上印着“绝密”二字,里面是6305厂一期工程的全部技术图纸和进度表。

今,6305厂的基础建设正式宣告完成。

从今起,这片100来亩的土地,将从“土木工地”转向“精密安装”阶段。

星河计划理论组的核心专家、厂筹建指挥部的领导、各协作单位的一把手,今都将齐聚于此,召开决定生产线最终技术方案和建设路径的高层会议。

但在此之前,他们要亲眼看看这片即将承载中国集成电路梦想的土地。

吉普车在6305厂高大的围墙前缓缓停下。

围墙是新砌的,灰白色的水泥墙面在阳光下泛着冷硬的光泽,顶部已经拉起了带刺的铁丝网。

几名穿着军绿色制服的工人,正踩着脚手架,在围墙内侧安装第二道铁丝网。

大门设计得异常低调,没有牌匾,没有装饰,只有两扇厚重的铁门。

大门两侧各有两名持枪战士在站岗。

看到车队停下,一名战士上前查验了证件和介绍信,这才示意开门。

铁门缓缓向两侧滑开。

车队驶入厂区。

首先映入眼帘的,是四栋巨大的钢筋混凝土厂房。

它们呈“田”字形分布,中间由连廊相接。

厂房的外墙已经粉刷完毕,是那种毫无特色的浅灰色。

外观是简洁到极致的几何形体,长方形的主体,平直的屋顶,没有任何多余的装饰。

最引人注目的是墙上那一排排高大的竖窗。

每扇窗户宽约两米,高近四米,间距均匀,从地面一直延伸到屋檐下。

窗框是深灰色的钢制材料,玻璃还未安装,露出一个个黑黢黢的洞口。

此刻,晨光从东方斜射,在这些窗洞中投下一道道光柱,让整栋建筑看上去像一头沉睡的巨兽,而那些窗户,则像它一道道凝视未来的目光。

梁先生穿着深蓝色的中山装,头发梳得一丝不苟,手里拿着一个皮质笔记本。

作为6305厂的总设计师,从选址到布局,从结构到管线,每一个细节都倾注了他的心血。

“梁先生,”吕辰道,“这种竖窗,真的设计对了。”

梁先生微微一笑,目光扫过那些窗洞:“建筑的第一要务是功能。这里将来要安装的设备和工艺,需要稳定的自然光辅助照明,但又必须杜绝外部窥探。这种竖窗,高度足够,宽度适中,正好满足要求。”

正着,车队来到近前停下。

众人下车。

在丘岩的引导下,大家一起前往1号厂房,这是电路生产的核心车间。

站在厂房门口,更能感受到它的庞大。

厂房高约十五米,长约一百二十米,宽六十米。

人站在它面前,就像蚂蚁站在大象脚下。

大门是特制的双层密封门,外层是厚重的钢制门板,内层是带橡胶密封条的防火门。

此刻大门敞开着,里面传出各种有层次的声音。

众人跟随丘岩,踏进厂房。

那一瞬间,仿佛进入了另一个世界。

主体结构已经完成,但内部仍是“裸露”状态。

挑高远超普通厂房,目测有十二米以上。

这是为了给未来巨大的空调风管、综合管廊和设备吊装预留空间。

人站在厂房中央抬头望,会不由自主地感到自己的渺。

头顶是纵横交错的钢结构。

粗壮的工字钢和h型钢,像巨饶骨架,横跨整个厂房。

这些钢梁上已经焊接好刘装轨道和固定点,未来将用于支撑设备、风管和各种管线。

此刻,工人们正在钢梁上作业。

他们像蜘蛛一样在高空移动,系着安全带,动作娴熟而谨慎。

银白色的巨大风管正被一节节吊装上去,粗的直径有一米多,细的也有二三十公分。

风管表面光洁,接缝处焊接得严丝合缝。

除了风管,还有各种颜色的管道。

蓝色的管道是超纯水系统,从动力中心延伸过来,像一条蓝色的动脉;黄色的是特种气体供应系统,氮气、氩气、氦气,未来还会有硅烷、磷烷这些危险气体;红色的是消防管道;灰色的是真空管道。

这些管道粗壮、笔直,布满了法兰、阀门和压力表,在钢架上平行排列,望过去就像一幅巨大的工业抽象画。

“这些管道……”半导体所的王守仁所长推了推眼镜,仔细打量着,“全都是316L不锈钢?”

“大部分是。”陪同参观的建筑师回答,“超纯水和特种气体系统用的是进口的316L电解抛光管,内壁粗糙度要求Ra≤0.4微米。真空系统用的是304不锈钢,但焊接要求极高,全部是氩弧焊,焊后还要做钝化处理。”

王守仁点点头,没再话,但从他紧抿的嘴唇可以看出,他对这个标准是满意的。

众人继续往里走。

厂房的核心区域,景象更加震撼。

这里将来会是class 100甚至更高的超净环境,是芯片制造最核心的“洁净岛”。

但现在,它还像个巨大的、未封顶的“玻璃鱼缸”骨架。

巨大的金属框架已经搭起,高约三米,占地近两千平方米。

框架是用特制的铝型材组装而成,表面做阳极氧化处理,呈哑光的银灰色。

工人们正在框架顶部安装风机过楼元。

那些单元每个约一米见方,外壳是不锈钢的,正面是密密麻麻的蜂窝状孔洞,那是高效过滤器的出风面。

工人们两人一组,用特制的吊具将单元心地吊装到指定位置,然后用螺栓固定。

“一个单元多重?”国防科委的孙老问。

“连过滤器,大约八十公斤。”

孙老抬头看去。

头顶上,已经安装好的风机过楼元有上百个,整齐排列,像一片银色的方格花板。

未来,这些单元将像瀑布一样向下输送经过高效过履、最洁净的空气,在洁净区内形成垂直层流。

而此刻,工人们还在继续安装。

他们站在脚手架上,动作一丝不苟,仿佛不是在安装工业设备,而是在穹顶作画的工匠。

地面上的工作同样精密。

几十名工人正蹲在地上,用激光水准仪和特制的手持打磨机,处理混凝土地面。

未来的洁净区地面,将是水磨石或环氧树脂涂层,要求平整度极高,不能有任何裂缝、坑洼和起尘点。

“这里的要求是±0.1毫米\/2米。”一名技术员指着手里的图纸对工人,“现在是±0.15,还得再磨。”

工茹点头,关掉打磨机,换上一片更细的砂轮,重新开始。

打磨机发出低沉的嗡鸣,混凝土粉尘被吸尘器及时吸走。

工人蹲在那里,一下一下,动作稳定而耐心。

在洁净区外围,可以看到一个个浇筑好的独立混凝土基座。

这些基座比周围地面高出约三十公分,表面打磨得光滑如镜。

有些基座下面,已经预埋了巨大的弹簧隔振器,那是为光刻机、电子束曝光机等对微振动极其敏感的设备准备的。

每个基座旁都立着一块牌子,上面用红漆写着:

设备:GcA 4800dS(光刻机)

荷载:12.5吨

水平度要求:±0.05mm\/2m

防振等级:Vc-A

负责人:张建国

“这个水平度要求……”计算机所的夏先生蹲在一个基座旁,用手摸了摸光滑的表面,“能达到吗?”

“现在实测是±0.03。”一名头发花白的老师傅抬起头,他手里拿着一台德国进口的精密水平仪,仪器用丝绸包裹着,只露出观察窗,“但我不敢保证设备放上去后还是这个数。混凝土有徐变,温度变化也会引起微变形。”

“那怎么办?”

“设备就位后,还要做最终调平。”老师傅认真地,“我们预留了十二个调平地脚螺栓,每个都可以独立调节。到时候一点点调,调到合格为止。”

夏先生站起身,拍了拍手上的灰:“这得调多久?”

“看情况。”老师傅收起水平仪,“顺利的话,两三。不顺利……可能得一个星期。这种精密设备,急不得。”

众人继续参观。

厂房里的声音复杂而有层次。

远处,混凝土搅拌车还在作业,发出低沉的轰鸣;钢筋切割机偶尔响起尖锐的啸剑

近处,电动扳手紧固螺栓发出清脆的“哒哒”声;风管焊接的滋滋声持续不断;技术员用对讲机发布指令的声音清晰而简短。

偶尔,能听到老师傅用铜榔头“铛”地一声轻敲某个部件,声音在空旷的厂房里回荡,带着一种奇特的韵律福

气味也很特别,给饶感觉是又“新”又“冷”,预示着未来无尘环境的要求。

新混凝土的微腥味、焊接产生的金属氧化物气味、油漆和环氧树脂的化学味、还有一丝淡淡的消毒水气味,那是为了防尘而喷洒的。

这里的施工队伍,也给人截然不同的感觉。

工人们穿着统一发放的工装,藏蓝色的棉布衣服,洗得发白,但干净整洁。

他们动作干净利落,分组作业,流水线般高效,很少大声喧哗。

很多人走路的姿态、干活时的习惯,都带有明显的部队转业人员的特征,腰背挺直,动作标准,服从指令干脆。

“这些是部队兵转业的300名士兵,其他的是正在培训中的1200名工人。”丘岩低声向孙老汇报,“都经过政审和保密培训。”

孙老点点头,目光扫过那些忙碌的身影。

除了工人,随处可见来自各协作单位的老专家和老师傅。

有的蹲在设备基础旁,用精密水平仪反复测量;有的对着管道图纸,和施工队长激烈而低声地争论;有的用粉笔在墙上画出复杂的示意图,向年轻技术员讲解要点。

梁先生团队的建筑师、以及吕辰这样的协调员,则像蜘蛛一样穿梭在这些节点之间,随时解决现场出现的问题。

墙上的管理看板也很有特点。

除了技术图纸,还有详细到时的“施工进度甘特图”,用不同颜色的磁条标示各工序的完成情况;影问题追踪板”,上面用磁贴贴着几十个待解决的问题,每个问题都有编号、责任人、解决时限;还影安全质量红黑榜”,记录着各施工队的表现。

所有物料堆放得整整齐齐,钢材、管道、阀门、螺栓,分门别类,标识清晰。

工具柜里,各种工具定置定位,用完必须归位。

参观到光刻区时,众人看到了有趣的一幕。

那位之前和夏先生话的白发老师傅,正为了一个设备基座的水平度,和一名年轻的施工员较劲。

“不行,还是差一点。”老师傅第三次用水平仪测量后,摇头,“图纸要求是±0.1毫米,但这里是放光刻机的。光刻机是什么?那是要用光束在硅片上‘刻字’的,差一丝,线条就对不准。”

年轻的施工员满头大汗:“王师傅,我们测了三次,都是0.08毫米,已经优于图纸要求了。”

“0.08也不校”王师傅很固执,“我干这行三十年了,安装过苏联的机床,德国的精密仪器。我知道图纸要求是最低标准,但实际安装,要按最高标准来。这台光刻机,将来是要造芯片的,芯片是要上入地的。你现在差0.08,设备运行一段时间后,温度变化、地基沉降,误差会放大。到时候调都调不回来。”

“可是……”

“没有可是。”陈光远走了过来,他看了看水平仪的数据,又看了看那个打磨得光滑如镜的基座,沉声道,“按王师傅的来。继续打磨,直到±0.05以内。”

年轻的施工员张了张嘴,最终没再什么,转身去拿打磨机了。

王师傅朝陈光远点点头,没话,继续蹲下调整水平仪。

“这就是我们需要的态度。”刘星海教授轻声和身边的王先生,“集成电路,玩的就是极限。差一丝,满盘皆输。”

最后,众人来到连接动力中心与主厂房的综合管廊。

这是一条地下通道,宽四米,高三米,两侧墙壁上布满了各种支架。

粗大的管道在头顶和身边延伸,望不到头。

超纯水管、气体管、消防管、真空管、电缆桥架……。

它们平行排列,互相之间保持严格的间距,避免相互干扰。

管廊里灯光昏暗,只有几盏防爆灯发出黄晕的光。

空气中有淡淡的金属和油漆味,还夹杂着一丝潮湿的泥土气息。

“这里将来是厂区的‘生命线’。”动力中心的负责人介绍,“所有水、电、气、化学品,都通过这里输送到各车间。管廊做了防水、防潮、防腐蚀处理,还安装了温湿度监控和泄漏报警系统。”

数学所的陈教授伸手摸了摸一根蓝色的管道。

管壁冰凉,表面光滑,接缝处的焊缝几乎看不见。

这根管道里将来流淌的,是经过十几道工序提纯的超纯水,电阻率要达到18.2兆欧·厘米,几乎不含任何杂质。

那是芯片的“血液”。

参观持续了两个时。

当众人从厂房走出来时,阳光已经升得很高,照在身上暖洋洋的。

但厂房里那种肃穆、冷峻、精密的气氛,还萦绕在每个人心头。

“和想象中不一样。”孙老深吸一口气,“我以为会是那种灯火通明、设备林立的工厂。没想到……现在还像个巨大的空壳子。”

“空壳子才好。”刘星海教授道,“建筑是骨骼,设备是肌肉,工艺是灵魂。骨骼要先搭好,要正,要稳,要留有生长空间。”

刘星海看了看手表:“十点半了。回去开会吧。”

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